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  • Low-E玻璃真空镀膜线控制系统概述

      Low-E玻璃真空镀膜线控制系统采用完整的分布式控制设计,按工业流程分为装片站、清洗站、真空镀膜工业处理站、卸片站。其中真空镀膜工业处理站为整个系统的主站,上位机通过Ethernet/IP和真空镀膜主站通信。装片站、清洗站、卸片站Profibus-DP/Controlnet接入真空镀膜工业处理主站,上位机通过Ethernet/IP和真空镀膜主站通信。


      真空镀膜工业处理分为传动系统和逻辑控制系统,这两个控制部分分别单独拥有自己的总线、I/O站和CPU处理器。传动系统分为手动点动(正反转控制)、空气状态自动运行、自动模式等三种运行模式。手动点动模式不依赖于总线和主站,只要驱动器没有故障就可以单台点动任何一台电机。空气状态自动运行模式是指腔室在空气状态下自动运行,此时传动系统和逻辑控制部分没有联锁,又传动系统独立完成控制,此模式多用在调试传动系统和空气状态下玻璃自动清场。自动模式是正常生产模式。传动系统可采用变频传动控制和伺服传动控制,采用变频传动控制需采用转矩的前导补偿控制算法,以保证玻璃在腔室之间传送时,不会因为加减速和负载变化,引起速度不同步,造成划痕或变频器过载。


    逻辑控制系统拥有自己独特功能的总线和I/O站,为了保护关键的工业处理设备(溅射阴极、分子泵、真空测量仪表等),逻辑控制系统大量采用分布式智能控制模块,以保证在故障和急停状态下,这些关键的设备仍然处于安全保护中。
 

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